公开/公告号CN202976817U
专利类型实用新型
公开/公告日2013-06-05
原文格式PDF
申请/专利权人 爱卡拉互动媒体股份有限公司;
申请/专利号CN201220527560.9
申请日2012-10-15
分类号
代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司;
代理人王晶
地址 中国台湾台北市信义区东兴路41号10楼
入库时间 2022-08-21 23:48:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-30
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G10H1/36 授权公告日:20130605 终止日期:20151015 申请日:20121015
专利权的终止
2013-06-05
授权
授权
机译: 具有压电致动的MEMS装置,包括该MEMS装置的投射式MEMS系统以及相关的驱动方法
机译: 具有压电致动的MEMS装置,包括该MEMS装置的投射式MEMS系统以及相关的控制方法
机译: 具有压电致动的MEMS装置,包括该MEMS装置的投射式MEMS系统以及相关的驱动方法