用于点燃和维持等离子体的方法和装置

摘要

一种大气电感耦合等离子体炬，其包括在其内产生等离子体的容器和缠绕该容器的外周的线圈。该线圈具有至少两个间隔开的绕组层。该线圈被构造成使得在缠绕相邻的多匝之前缠绕给定的多匝的所有绕组层。该线圈的第一端部耦合到地，并且所述线圈的第二端部被耦合以接收RF驱动信号，该RF驱动信号被配置为点燃等离子体以便处理。