采用线性调频双光束激光外差法及扭摆法测量微冲量的装置及该装置的测量方法

摘要

采用线性调频双光束激光外差法及扭摆法测量微冲量的装置及该装置的测量方法，属于微冲量测量领域。解决了现有测量微冲量的装置及方法的测量精度低的问题。本发明采用线性调频双光束激光外差法应用在微冲量测量方法中，将微冲量的测量转化为标准梁扭摆角的测量，通过对平面标准镜厚度的测量可以间接得到待测标准梁扭摆角的信息，有效的提高了测量精度，在转动角度较小(小于5°)时，所测的微冲量与入射角θ