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电磁场测量设备和电磁场测量方法

摘要

提供一种电磁场测量设备,用于以高灵敏度测量其中密集封装了电子器件的极小区域中的电磁场。在根据本发明的电磁场测量设备中,基于从计算控制单元(40)供应的振幅水平控制信号(eb),通过调整检偏器(34)相对于信号光(pf)的偏振面的角度而由检偏器(34)调整信号光(pf)的振幅水平。基于由RF频谱分析器(39)测量的电信号(ed)的频谱(ea)将振幅水平控制信号(eb)从计算控制单元(40)供应到检偏器(34)。将包含在入射到光接收器(38)上的信号光(ph)中的载波和边带之间的振幅水平比控制为固定值。

著录项

  • 公开/公告号CN102472786B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-09-03

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日本电气株式会社;

    申请/专利号CN201080030843.6

  • 发明设计人 岩波瑞树;福田浩司;大平理觉;

    申请日2010-05-18

  • 分类号G01R29/08(20060101);G01R31/302(20060101);

  • 代理机构11219 中原信达知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人孙志湧;安翔

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 09:20:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 29/08 授权公告日:20140903 终止日期:20170518 申请日:20100518

    专利权的终止

  • 2014-09-03

    授权

    授权

  • 2014-09-03

    授权

    授权

  • 2012-07-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 29/08 申请日:20100518

    实质审查的生效

  • 2012-07-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 29/08 申请日:20100518

    实质审查的生效

  • 2012-05-23

    公开

    公开

  • 2012-05-23

    公开

    公开

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