公开/公告号CN102017101B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-06-04
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN200980115810.9
申请日2009-05-01
分类号H01L21/324(20060101);H01L21/683(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:18:53
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-04
授权
授权
2011-06-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/324 申请日:20090501
实质审查的生效
2011-04-13
公开
公开
机译: 用于旋转基板的非径向温度控制系统
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