法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-01-07
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01S 5/10 变更前: 变更后: 申请日:20091130
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2013-12-11
授权
授权
2012-09-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01S 5/10 申请日:20091130
实质审查的生效
2011-06-01
公开
公开
机译: 目标定位装置,用于驱动目标定位装置的方法以及包括这种目标定位装置的光刻系统
机译: 目标定位装置,用于驱动目标定位装置的方法以及包括该目标定位装置的光刻系统
机译: 目标定位装置,用于驱动目标定位装置的方法以及包括这种目标定位装置的光刻系统