晶圆面型检测系统及晶圆面型的检测方法

摘要

本申请提供一种晶圆面型检测系统及晶圆面型的检测方法，晶圆面型检测系统包括：光源装置、滤波扩束装置、分束装置、反射装置以及图像采集装置；光源装置用于发射预设波长的探测光束至滤波扩束装置；滤波扩束装置用于对探测光束进行滤波扩束，得到平行光；分束装置用于对平行光进行反射，得到第一反射光束；反射装置放置有待测晶圆，第一反射光束照射至待测晶圆后由反射装置对第一反射光束进行反射得到第二反射光束；图像采集装置用于接收第二反射光束，得到目标图像，且在目标图像中牛顿环的特征参数符合预设参数条件或目标图像未出现牛顿环时，确定待测晶圆符合压印条件。本申请能够提高晶圆的面型检测效率以及降低晶圆的面型检测成本。