基于哈特曼传感器的镜片空间位姿调整装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于哈特曼传感器的镜片空间位姿调整装置及方法。主要包括镜片X,Y轴偏转误差检测及调整和镜片Z轴的相对位置检测及调整两部分。主要操作步骤为：激光器发射激光经过准直扩束装置，依次经过两个分光棱镜后被透镜接收并扩束，分光棱镜接收扩束光进行准直然后将光束射在镜片上，镜片反射的光依次经过两个分光棱镜后被S‑H传感器接收；白光依次经过两个分光棱镜后被透镜接收并扩束，分光棱镜接收扩束光进行准直然后将光束射在镜片上，镜片反射的光依次经过两个分光棱镜后被CCD接收。本发明结构简单，集成化高，调整效率高，可大幅降低镜片调整难度。