一种柔性可弯曲钽基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明提供了一种柔性可弯曲钽基掺硼金刚石薄膜及其制备方法和应用，涉及半导体材料技术领域。通过选择金属钽尺寸、预处理金属钽改善其对金刚石的附着能力、再将其作为基底材料，利用金属钽良好的弯曲性能和稳定的化学性质，从而制备出可弯曲钽基掺硼金刚石薄膜。经上述简单、便捷的制备方法得到的钽基掺硼金刚石薄膜，可以兼顾柔性可弯曲功能和优异的电化学性能；以此组装而成的柔性电容器器件在电流密度为1mA cm‑2时，得到功率密度为0.6mW cm‑2和能量密度为25.6mJ cm‑2；在电流密度为0.6mA cm‑2时，经过200,00次循环充放电后该器件仍有93.5％的电容保持率。因此，极大的扩展了掺硼金刚石在柔性超级电容器领域的应用。