法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-03-28
公开
发明专利申请公布
机译: 概率分布构建方法,概率分布构建设备和概率分布构建程序,以及对象检测方法,对象检测设备和对象检测程序
机译: 概率分布构建方法,概率分布构建设备,概率分布构建程序的存储介质,对象检测方法,对象检测设备以及对象检测程序的存储介质
机译: 具有形式双折射的表面特征测量系统,具有形式双折射的特征尺寸测量方法,具有高横向分辨率的各向异性样品的临界尺寸的测量装置以及具有样品的高分辨率的临界尺寸的方法