紫外宽带高反射色散镜设计方法

摘要

紫外宽带高反射色散镜结构，由下到上依次为基底层、紫外高反射金属层、类Gires‑Tournois腔、啁啾色散层、表面增透层；色散镜结构的基本表达式为：S代表基底，C代表紫外高反射金属层，G代表类Gires‑Tournois腔，代表啁啾色散层(ajak)，代表表面增透层，A代表空气，H和L分别代表光学厚度为的高折射率材料膜层和低折射率材料膜层。本发明在利用紫外高反射金属层作为反射层的同时，通过在金属膜上构造类Gires‑Tournois腔和啁啾色散层提高反射率同时进行色散补偿。并在初始结构中降低H层和L层厚度的比例，使低折射率层在膜层设计中占主导地位，通过对膜层材料分布比例的宏观调控降低了激光在类Gires‑Tournois腔内震荡时的吸收损耗，最终设计出以低吸收材料低为主体的紫外宽带高反射色散镜。