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激光照射装置、激光照射方法和可读取地记录有程序的记录介质

摘要

本发明提供一种激光照射装置,其包括多个激光光源,还包括控制部,该控制部进行涉及从所述多个激光光源出射的激光的控制,所述控制部取得所述多个激光光源各自的特性信息,根据所取得的各个特性信息进行规定的处理。

著录项

  • 公开/公告号CN115548853A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-12-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 JSW阿克迪纳系统有限公司;

    申请/专利号CN202210699291.2

  • 申请日2022-06-20

  • 分类号H01S3/10;H01S3/23;H01L21/67;

  • 代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人宋融冰

  • 地址 日本国神奈川县

  • 入库时间 2023-06-19 18:08:07

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-12-30

    公开

    发明专利申请公布

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