短波红外焦平面传感器及其制作方法、短波红外探测器

摘要

本发明实施例提供一种短波红外焦平面传感器及其制作方法、短波红外探测器。短波红外焦平面传感器包括TFT背板和设于其上的胶体量子点光电转换层，胶体量子点光电转换层在TFT背板上的正投影覆盖TFT背板的感应区，并用于感应短波红外光。TFT背板包括衬底基板，以及设置于衬底基板的感应区的薄膜晶体管层；薄膜晶体管层设置在衬底基板和胶体量子点光电转换层之间，且包括多个薄膜晶体管，每个薄膜晶体管对应一个像素。胶体量子点光电转换层朝向TFT背板的一侧设有多个偏置电极，背向TFT背板的一侧设有公共电极。每个偏置电极对应一个薄膜晶体管；公共电极覆盖胶体量子点光电转换层，公共电极与偏置电极同种材料制作。