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一种刻槽设备和刻槽方法

摘要

本发明实施例提供了一种刻槽设备和刻槽方法,所述刻槽设备包括:用于容纳待加工件的加工舱、用于在所述待加工件上刻槽的刀具、用于夹持所述待加工件的夹持机构以及用于驱动所述夹持机构转动的驱动机构,其中,所述夹持机构、所述刀具均设于所述加工舱内,且所述夹持机构可相对所述加工舱转动;所述刻槽设备还包括:用于控制所述加工舱内的温度处于预设温度范围的温度控制装置,所述温度控制装置设于所述加工舱内。采用本发明实施例中的刻槽设备,可以提高待加工件刻槽的加工效率和加工质量。

著录项

  • 公开/公告号CN115489038A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-12-20

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 隆基绿能科技股份有限公司;

    申请/专利号CN202110680356.4

  • 发明设计人 毛剑波;李杰;党朋飞;

    申请日2021-06-18

  • 分类号B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04;H01L21/304;

  • 代理机构北京润泽恒知识产权代理有限公司;

  • 代理人赵娟

  • 地址 710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

  • 入库时间 2023-06-19 18:00:11

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-12-20

    公开

    发明专利申请公布

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