一种晶圆快速调整多自由度直线导轨位移平台

摘要

本发明公开了一种晶圆快速调整多自由度直线导轨位移平台，包括台面、底座以及若干个驱动部，所述驱动部的一端连接于所述底座、另一端连接于所述台面；所述驱动部包括连接于所述底座的第一运动件、驱动所述第一运动件直线运动的驱动件、连接于所述第一运动件的第二运动件、连接于第二运动件的铰接件，所述第一运动件具备第一楔形面，所述第二运动件具备第二楔形面，第二楔形面与第一楔形面契合，使得第二运动件的运动方向与第一运动件的运动方向垂直；铰接件的一端固定于第二运动件、另一端铰接于台面。本发明实现Z轴升降、tip－tilt角度变化的顺利转换，使得台面运动较为平稳、顺滑，不会卡顿，解耦效果好，响应力强，调节范围大。