低温反射镜面形控制装置、同步辐射装置及自由电子激光装置

摘要

本发明提供了一种低温反射镜面形控制装置、同步辐射装置及自由电子激光装置，涉及同步辐射及自由电子激光技术领域，该低温反射镜面形控制装置可在反射镜的两侧分别设置加热控制模组和冷却控制模组，冷却控制模组中设置有冷却管道，冷却管道中通有冷却介质，用于对反射镜本体进行降温；加热控制模组用于补偿反射镜表面的面形，该低温反射镜面形控制装置能够在处理高热负载的同时，又能够实现对反射镜面形的补偿，解决了当前水冷方案的不足。