粘棒定向仪、定向粘棒装置及定向粘棒方法

摘要

本发明公开了一种粘棒定向仪、定向粘棒装置及定向粘棒方法，涉及半导体技术领域，其中，粘棒定向仪包括底座、料板、第一控制阀、滑动板、基准板、固定板、第二控制阀、旋转机构、测量旋转臂及测针组；滑动板的内部设有通气管且下表面设有底部凹槽，通气管的进气端与第一控制阀连通，通气管的出气端与底部凹槽连通；基准板及固定板分设于滑动板两侧，滑动板能沿基准板及固定板的长度方向来回移动；测量旋转臂通过旋转机构与第二控制阀连接，测针组设于测量旋转臂上，第二控制阀用于驱动旋转机构带动测量旋转臂及测针组旋转，以切换测针组的测量方向。采用本发明可避免晶棒在定向粘棒过程中发生的碰撞，减少产品损失，还可提高粘棒的精准度。