使用了MEMS谐振器的谐振型传感器和谐振型传感器的检测方法

摘要

温度传感器(400)是使用了MEMS谐振器(500)的温度传感器(400)，具备：MEMS谐振器(500)；扫频部(401)，沿着规定的扫频方向对MEMS谐振器(500)的振子(501)的激励信号的频率进行扫频，并将扫频后的激励信号向MEMS谐振器(500)输出；不连续点检测部(412)，从MEMS谐振器(500)取得基于激励信号的表示振子(501)的振动状态的特征量即振动状态信息信号，检测取得的振动状态信息信号不连续地变化时的激励信号的频率或对应于频率的时刻；以及转换部(415)，基于检测出的检测值来决定作用于MEMS谐振器(500)的物理量。