控制参数调整系统、控制参数调整装置及控制参数调整方法

摘要

控制参数调整系统(100)具有：仪器(201、202)，其按照所设定的控制参数进行运转，与其它仪器协作；以及控制参数调整装置(10)，其对控制参数进行调整，控制参数调整装置(10)具有：数据收集部(111、112、113)，其对与仪器(201、202)的动作状态相关的数据即仪器数据、与仪器(201、202)运转而生产的产品的生产状况相关的数据即生产管理数据进行收集；以及参数更新部(16)，其基于仪器数据及生产管理数据，对控制参数的更新候选值进行计算，将更新候选值发送至仪器(201、202)而对控制参数进行更新。