基于激光诱导击穿光谱的纵向深度元素定量分析方法

摘要

本发明公开了一种基于激光诱导击穿光谱的纵向深度元素定量分析方法，包括以下步骤S1、使用偏最小二乘法对LIBS的烧蚀深度数据进行训练，获得深度预测模型；S2、对待测样品元素定量深度分布进行分析；具体包括以下子步骤：S21、对待测样品分别利用LIBS技术进行不同脉冲次数的烧蚀，并进行光谱采集；S22、通过光谱以及深度预测模型对待测样品的烧蚀深度值进行预测；S3、通过定标法或非定标法对待测样品中的元素含量进行分析；S4、通过S22预测的深度值与S3计算的元素含量完成对待测样品元素深度分布的定量分析：将S22中预测的烧蚀深度值与S3中计算的目标元素含量分别作为横坐标和纵坐标做图，获得的待测样品中目标元素的含量深度分布。