基于TCO材料的非对称合解波芯片功率调节单元

摘要

本发明公开基于TCO材料的非对称合解波芯片功率调节单元，属于光学元件、系统或仪器的技术领域。该功率调节单元基于透明导电氧化物材料制成，包括波导层、透明导电氧化物材料层、氧化物层、金属层，形成等离子体金属氧化物半导体效应，通过外加电压实现非对称合解波芯片透过率动态可调。本发明结合闭环反馈系统，可根据波长不同，实现非对称合解波芯片透过率的智能调节，进而调节各路输出波导输出功率的大小，使得非对称合解波芯片的工作波长可以覆盖光通信系统中的全波段，实现全波段能量非均匀波分功能的非对称合解波芯片性能稳定。