一种窄线宽、大功率锁模980nm基模半导体激光器

摘要

本发明涉及一种窄线宽、大功率锁模980nm基模半导体激光器。所述激光器包括从下至上依次设置的N型限制层、N型波导层、量子阱有源层、P型波导层和P型限制层；所述P型限制层上设置有三段式波导区；所述三段式波导区包括有源震荡级波导区、无源弯曲波导区和有源锥形波导区；所述有源震荡级波导区内设置有源震荡级波导；所述无源弯曲波导区内设置无源弯曲波导；所述有源锥形波导区内设置有有源锥形波导。本发明通过三种波导连接构成三段式波导区，并且设置调整有源震荡级波导、无源弯曲波导有源锥形波导的宽度、曲率和腐蚀深度，使得三段式波导区在有效抑制高阶模激射的同时提高了980nm基模半导体激光器的输出功率和锁模能力。