X射线能谱分析中加速电压的确定方法及能谱分析方法

摘要

本发明公开了一种X射线能谱分析中加速电压的确定方法及能谱分析方法，包括：确定激发源的电子束加速电压与待测元素的特征X射线的能量的初始关系式；其中激发源的电子束加速电压与待测元素的特征X射线的能量为线性关系；获取多个不同的元素激发出特征X射线时采用的电子束加速电压；根据多个不同元素的特征X射线的能量及多个不同元素激发出特征X射线时采用的电子束加速电压，确定至少一个待确定系数；根据待测元素的特征X射线的能量和确定待确定系数后的初始关系式确定待测元素对应的参考电子束加速电压；根据参考电子束加速电压确定待测元素对应的电子束加速电压。本发明可以快速简单精准的确定电子束加速电压。