公开/公告号CN115290519A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-11-04
原文格式PDF
申请/专利权人 中国地质大学(北京);
申请/专利号CN202210895338.2
申请日2022-07-26
分类号G01N15/04;
代理机构北京华清科睿知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人武媛
地址 100083 北京市海淀区学院路29号
入库时间 2023-06-19 17:27:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-04
公开
发明专利申请公布
机译: 物理气相沉积靶的构造以及处理物理气相沉积靶的方法
机译: 2将两种包含铝的物质粘合在一起的方法,以及将物理气相沉积目标材料粘合到背衬材料和包含铝的物理气相沉积靶材和支撑板材的另一种粘合方法
机译: 用于调整电子束物理气相沉积设备,电子束物理气相沉积设备中的进料速率的方法以及使用该设备制造无分层的多组分冷凝物的方法