压电驱动器阵列的制造方法和压电驱动器阵列

摘要

一种压电驱动器阵列的制造方法和压电驱动器阵列，属于压电驱动器领域，该方法包括：叠压基座层、多层压电功能层和保护层，对基座层、压电功能层和保护层进行排胶烧结，切割掉内电极所在的目标空间范围外的压电功能层和保护层，通过电极端对排胶烧结后的多个压电驱动器单元进行极化，得到由基座层、多个压电驱动器单元和保护层组成的压电驱动器阵列。在制造压电驱动器阵列的过程中，阵列中的多个压电驱动器单元同时制造，多个压电驱动器单元在制造过程中的工艺参数始终保持一致，可以使多个压电驱动器单元的性能参数保持一致，从而可以提高多个压电驱动器单元的一致性。