提高硅片加工速度的交接装置及快速交接方法

摘要

本发明公开了提高硅片加工速度的交接装置，通过负压主管、负压主孔、负压支管和负压支孔之间组成抽气管路，使硅片负压吸附固定在交接盘的端面上，吸附固定到达交接区的硅片安全牢靠；通过充气主管、交接主管、充气支管和交接支管之间组成充气管路，使交接支管顶部设置的交接组件便于充气动作，交接支管内充气时带动交接组件伸出交接盘的端面，使交接组件推动硅片与交接盘端面脱离，实现负压支孔位置便于吸附和交接释放脱离分开进行，保证了到达交接区的硅片上下料安全可靠，提高硅片传输的加工效率，同时有助于降低硅片交接时的碎片率。