包括音叉机械谐振器的、感测流体特性的流体传感器

摘要

本发明涉及一种用于感测待感测流体的多种特性的流体传感器，包括音叉机械谐振器(3)。所述音叉机械谐振器(3)包括基部(11)和从所述基部(11)突出的至少一个齿(15A，15B)，所述基部(11)和所述至少一个齿(15A，15B)由压电材料形成，并且所述至少一个齿包括配置为暴露于流体的至少两个电极(17A‑B；19A‑B)。所述压电材料包括钽酸锂。