一种基于双参数修正的光栅光谱仪机械位置误差修正方法

摘要

本发明提供了一种基于双参数修正的光栅光谱仪机械位置误差修正方法，包括：基于标准光谱，建立由丝杠位置参量表征的光栅零位误差和由光栅轴杆长参量表征的光栅轴杆长误差；基于标准波长，对所述光栅零位误差的参量和所述光栅轴杆长误差的参量进行修正，消除光栅光谱仪机械位置误差。本发明利用光栅光谱仪的双参量对光谱仪器的输出波长准确度进行修正，相对于传统技术修正后的光栅光谱仪的波长准确度更好；构建误差参量和误差平方和的函数关系，能后通过该函数直接得到误差调整参量的值，与传统的技术相比采用直接求解的方式可以更快的得到光栅光谱仪的修正值。