一种超临界二氧化碳气氛工作间的供气系统及方法

摘要

本发明公开了一种超临界二氧化碳气氛工作间的供气系统及方法，包括超临界二氧化碳气氛工作单元、超临界二氧化碳输送单元、超临界二氧化碳冷却单元。系统可以根据设定温度、压力值，在所述超临界二氧化碳气氛工作单元内提供稳定的超临界二氧化碳气氛环境；系统其余组成协同完成向超临界二氧化碳气氛工作单元输送流体、调控温度、压力等工作。与现有技术相比，本发明实施例可以准确、快速地实现设定温度、压力下超临界二氧化碳的制备。