公开/公告号CN115022213A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-06
原文格式PDF
申请/专利权人 福州畅昕信息科技有限公司;
申请/专利号CN202210755690.6
申请日2022-06-30
分类号H04L43/106;
代理机构福州市博深专利事务所(普通合伙);
代理人董晗
地址 350000 福建省福州市闽侯县上街镇邱阳东路根雕展示交易中心3号楼二层A1区
入库时间 2023-06-19 16:42:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-06
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体制造设备,检测异常的方法,识别异常的原因或预测半导体制造设备中的异常的方法以及用于执行该方法的存储介质存储计算机程序
机译: 半导体制造设备,检测异常,识别异常原因或预测半导体制造设备中的异常的方法以及存储用于执行该方法的计算机程序的存储介质
机译: 识别异常服务请求,电子设备和介质的方法和装置