采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法、谐振器及压力感测系统

摘要

本发明公开了一种采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器的方法，包括如下步骤：采用二氧化碳激光对一石英毛细管进行加工，使之一端形成带接触探针的回音壁模式微泡腔，然后将一波导与所述回音壁模式微泡腔的赤道面圆周相耦合。该方法采用二氧化碳激光制备回音壁模式微泡探针谐振器。本发明还公开一种回音壁模式微泡探针谐振器及压力感测系统。