一种抑制强电场击穿的大功率内匹配电路

摘要

本发明提出的是一种抑制强电场击穿的大功率内匹配电路，在陶瓷内匹配电路的表面通过半导体加工工艺生长出一层钝化介质，通过该钝化介质可有效抑制超大输出功率情况下功率管内匹配电路出现强电场击穿现象，从而大幅提升大功率器件的可靠性。本发明在保证不增加内匹配电路射频损耗和不改变内匹配电路阻抗的情况下，有利于实现超大功率器件的持续稳定工作，在雷达、航空航天等领域具有广泛的应用前景。