一种抗高温氧化的NiAl/AlSiON多层复合涂层及制备方法

摘要

本发明涉及金属材料表面高温防护涂层领域，具体为一种抗高温氧化的NiAl/AlSiON多层复合涂层及制备方法。多层复合涂层由NiAl金属子层和AlSiON子层交替在钛合金钛铝合金基体上沉积获得，该多层复合涂层的底层和顶层均为AlSiON子层，采用离子镀技术制备AlSiON子层，使用磁控溅射技术制备NiAl金属子层，AlSi靶材作为离子镀阴极靶材以制备AlSiON子层，采用Ni3Al和Al靶作为磁控溅射阴极靶材以制备NiAl金属子层。NiAl/AlSiON多层复合涂层的制备过程包括：前期处理、离子溅射清洗、子层沉积和顶层的制备。本发明通过离子镀与磁控溅射技术共沉积获得的厚复合涂层，与基体结合强度良好，抗氧化性能突出。