一种X射线显微成像系统及其厚度渐变式菲涅尔波带片

摘要

本发明公开了一种X射线显微成像系统及其厚度渐变式菲涅尔波带片，包括：波带片本体；中心丝结构，所述中心丝结构位于所述波带片本体的中心位置处；M层膜光栅，所述M层膜光栅采用第一沉积方式沉积于所述中心丝结构外部，且与所述中心丝结构同心设置，且，所述M层膜光栅包括P个第一类环带膜层和Q个第二类环带膜层；其中，P个所述第一类环带膜层和Q个所述第二类环带膜层依次交替设置，且，P个所述第一类环带膜层和Q个所述第二类环带膜层的厚度各不相同。提高了菲涅尔波带片衍射成像效率和分辨率，达到通过所述菲涅尔波带片获得的X射线对样品的高质量成像的技术效果。