一种吸气式ECR中和器电子引出加强装置

摘要

本发明公开一种吸气式ECR中和器电子引出加强装置，中和器可以利用微波能量电离工质气体产生等离子体，在阳极电势的作用下引出电子，而该电子引出加强装置可以把电子电流提高到原有基础的30％以上。所述电子引出加强装置由屏蔽板与引出板组成，通过在引出板加载电压形成电势差，以提高中和器的电子引出效率。所述吸气式ECR中和器通过永磁体在放电室内形成特定的ECR区；通过特定形状和尺寸的微波天线在ECR区附近形成高强度微波电场，增加与磁场的耦合作用，提供高效的电离能量。进一步，永磁体和天线间特定的相对位置，优化了放电性能，有效提高了放电室内部等离子密度，同时配合电流加强装置可明显提高ECR中和器的电子引出电流。