过渡金属氧化物用于从气体去除氟化副产物的用途、用于去除这样的副产物的设备和方法

摘要

本发明涉及一种从包含副产物的气体(10)去除这样的副产物的方法，所述副产物包括氟腈化合物和/或氟碳化合物。这种方法包括使气体(10)与包含分子筛并进一步包含至少一种过渡金属氧化物的固体吸附剂相(11)接触的步骤(a)。本发明还涉及一种用于从包含氟化副产物的气体(10)去除这样的氟化副产物的设备(5,6)，也涉及至少一种过渡金属氧化物在包含分子筛的固体吸附剂相(11)中用于从包含所述副产物的气体(10)去除副产物的用途，所述副产物包括氟腈化合物和/或氟碳化合物。