一种波片相位延迟量和快轴方向的测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种波片相位延迟量和快轴方向的测量装置及方法，该装置由He‑Ne激光器、分束器、空间光调制器、线起偏器、道威棱镜、反射镜、CCD相机和计算机组成,并基于马赫曾德尔干涉原理进行搭建。本发明利用拉盖尔高斯光束干涉对光程差进行绝对测量，将待测波片放置与反射镜和分束器之间的光路中，首先记录待测波片其中一个主轴与线起偏器透光轴平行时的拉盖尔高斯光束干涉图，旋转待测波片，然后记录待测波片另一个主轴与线起偏器透光轴平行时的拉盖尔高斯光束干涉图，通过测量旋转待测波片前后的拉盖尔高斯光束干涉图的旋转角度以及旋转方向，可以准确测量波片真正的相位延迟量和快轴方向，测量精度高，结构简单且紧凑，操作简单。