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使用了显影液和冲洗液的树脂制透镜的制造方法及该冲洗液

摘要

本发明的课题是提供使用了采用了特定的有机溶剂的显影液和冲洗液的、树脂制透镜的制造方法。解决手段是一种树脂制透镜的制造方法,其具有下述工序:在形成了具有开口部的图案的支持体上涂布负型感光性树脂组合物的工序;使上述负型感光性树脂组合物、与具有目标透镜形状的反转图案和遮光膜的模具接触的压印工序;隔着上述模具将上述负型感光性树脂组合物曝光而在上述开口部形成光固化部的光固化工序;将上述光固化部与上述模具分离的脱模工序;使用包含γ‑丁内酯的显影液将上述负型感光性树脂组合物的未固化部除去,使上述光固化部露出而形成光固化物的显影工序;使用包含特定的化合物的冲洗液进行冲洗处理的冲洗工序;将上述冲洗液除去的干燥工序;以及将上述光固化物的整面曝光的工序。

著录项

  • 公开/公告号CN114730142A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-07-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日产化学株式会社;

    申请/专利号CN202080076899.9

  • 发明设计人 铃木朋哉;安达勋;

    申请日2020-09-30

  • 分类号G03F7/32;

  • 代理机构北京市中咨律师事务所;

  • 代理人马妮楠;段承恩

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 15:53:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-07-08

    公开

    国际专利申请公布

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