基于平均镜像光反射率的超精密车削表面粗糙度测量方法

摘要

本发明公开了一种基于平均镜像光反射率的超精密车削表面粗糙度测量方法，步骤为：建立单个进给量内经过超精密车削的工件表面的二维刀痕轮廓模型；将该二维刀痕轮廓模型以刀具每转进给量f为周期进行扩展，建立整个工件表面二维刀痕轮廓模型；计算工件表面粗糙度对应的镜像光反射率；以获得的各个平均镜像光反射率Rf为自变量，以Rf分别对应的表面粗糙度轮廓的最大高度值Rz为因变量，建立Rz和Rf之间的数学关系模型；对于待测的经过超精密车削的工件表面，测量工件表面在步骤三设定的入射光波长范围内的镜像光平均反射率Rf，代入到建立的数学关系模型中，即可获得表面粗糙度轮廓的最大高度数值。采用本方法实现了快速、准确测量。