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一种集成电路成品测试有效性的监控方法

摘要

本发明提供了一种集成电路成品测试有效性的监控方法,采取优化的日志结构记录成品测试的唯一识别码与对应的成品测试结果,利用唯一识别码与对应的成品测试结果还原出成品测试产出的晶圆MAP平面图,通过向上溯到晶圆测试时的数据,可保证成品测试结果的有效性,还可以还原出失效芯片位置分布,该监控方法能够用于跟踪减划、封装过程等工艺的相关性分析。

著录项

  • 公开/公告号CN114695153A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-07-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 紫光同芯微电子有限公司;

    申请/专利号CN202011636232.8

  • 发明设计人 欧阳睿;解辰;

    申请日2020-12-31

  • 分类号H01L21/66;H01L23/544;G06F11/22;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 100083 北京市海淀区五道口王庄路1号同方科技广场D座西楼6层

  • 入库时间 2023-06-19 15:50:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-07-01

    公开

    发明专利申请公布

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