结构化玻璃元件的方法和由此生产的结构化的玻璃元件

摘要

本发明涉及结构化玻璃元件的方法，其中将超短脉冲激光器的激光束引导到玻璃元件上，玻璃元件对激光束是透明的，在玻璃元件中产生至少一个细丝状缺陷，其横向于玻璃元件的侧面延伸，通过激光束产生细丝状缺陷，激光束借助于聚焦光学器件会聚以在玻璃元件(1)中形成焦线，其中在焦线内的激光束的强度足以产生细丝状缺陷，调整焦线使得细丝状缺陷在玻璃元件(1)内终止，将玻璃元件暴露在蚀刻浴中，通过蚀刻去除玻璃，使得细丝状缺陷变宽以形成在玻璃元件的相对侧面之间延伸的壁，壁具有边界线，边界线在壁和相邻侧面之间的顶点处成锥形，相对于侧面的垂线具有锥角,通过焦线的位置和强度分布中的至少一个调整锥角。