晶棒碳含量轴向分布计算方法

摘要

一种晶棒碳含量轴向分布计算方法，构建第一计算公式其中，K0为平衡溶质分凝系数，gx为晶棒在x位置的凝固比例，Cx晶棒在x位置的碳含量，C0为拉晶前石英坩埚内硅熔液中的碳含量，分别获取K0、C0、gx的数值，并根据第一计算公式计算Cx，通过检测晶棒尾部的碳含量，再利用第一计算公式，可以较为准确的计算出碳含量在晶棒的轴向分布，避免反切不足或反切过量造成单晶浪费的问题。