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公开/公告号CN114616685A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-10
原文格式PDF
申请/专利权人 国际商业机器公司;
申请/专利号CN202080076619.4
发明设计人 S·比德尔;S·霍姆斯;李宁;D·萨达纳;
申请日2020-11-05
分类号H01L39/24;C23C14/02;C23C14/04;C23C14/16;C23C14/28;C23C14/34;C23C14/50;C23C14/54;C23C14/58;C23C28/00;
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人王英杰;于静
地址 美国纽约
入库时间 2023-06-19 15:36:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-10
公开
国际专利申请公布
机译:"PR"工艺用于现代化工具和模具制造的意义