一种氟氮混合气中氟含量的测试方法

摘要

本发明属于气体分析技术领域，具体关于一种氟氮混合气中氟含量的测试方法；该装置包括供气装置、计量装置、吸附装置、真空装置。计量装置、吸附装置、真空装置通过管道、手阀、限流孔板依次相连。计量后的氟氮混合气通入吸收装置进行反应，反应结束计量剩余的气体，根据进入吸附装置前后体积的变化测试氟氮混合气中氟含量，可以直接根据读数计算分析结果，本方法具有装置结构简单，投资少，可实现工业化；安全环保无污染，操作简单；方法转化效率高，测试精度高等优点。