一种陶瓷叶片基薄膜热电偶用电磁感应热处理装置

摘要

本发明公开了一种陶瓷叶片基薄膜热电偶用电磁感应热处理装置，螺旋线圈包络在陶瓷叶片上，螺旋线圈的两端分别与电磁感应加热器连接，陶瓷叶片设置在氧化铝陶瓷腔体内，陶瓷叶片的表面设置有薄膜热电偶，氧化铝陶瓷腔体的一端与气道连接，气道的另一端分别与红外辐射点温仪和真空泵连接，电磁感应加热器、红外辐射点温仪和真空泵均与控制器电连接。制备的钨铼合金薄膜热电偶经热处理后，薄膜未发生氧化，薄膜工作正常，叶片未发现明显热变形。