公开/公告号CN114505257A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-17
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳格芯集成电路装备有限公司;
申请/专利号CN202210056805.2
申请日2022-01-18
分类号B07C5/344;B07C5/38;G06K17/00;G06T7/00;G06T7/73;H01L21/67;
代理机构深圳高智量知识产权代理有限公司;
代理人姚启迪
地址 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区翠景路33号格兰达装备产业园二期厂房一层至三层
入库时间 2023-06-19 15:22:57
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-17
公开
发明专利申请公布