一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用

摘要

本发明公开了一种深紫外物镜设计中的调焦调平装置及其应用；本发明装置将两个垂直放置且黏附在一起的U型弹簧片与深紫外物镜相连，通过两个可调节螺丝调整物镜和调焦调平单元的相对位置，调焦调平单元先扫描样品表面得到表面高低起伏，也即离焦量，后续物镜对此处成像时直接通过移动工件台来调节离焦的高度z，使得被测图形清晰。本发明装置结构简单，将其和具有较少镜片的深紫外物镜配合使用，可用于明场成像的半导体集成电路带图形硅片的缺陷检测，检测效率更高。