用于含氧激光持续等离子体源的真空紫外灯辅助点火的系统及方法

摘要

本发明公开一种照明系统，其包含经配置以收容气体的气体收容容器。所述照明系统还包含经配置以产生一或多个泵浦光束的一或多个泵浦源。所述照明系统包含臭氧产生单元，其包含一或多个照明源。所述一或多个照明源经配置以产生足以将收容在所述气体收容容器内的双原子氧(O2)的一部分转换为三原子氧(O3)的能量的照明光束，一或多个能量源经配置以经由通过所述三原子氧的一部分吸收所述一或多个能量源的能量来点燃收容在所述气体收容容器内的所述气体内的等离子体，其中所述等离子体发射宽带辐射。