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公开/公告号CN114476669A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所);
申请/专利号CN202210127135.9
发明设计人 赵东雷;关宏武;王浩楠;林继柱;刘颖;
申请日2022-02-11
分类号B65G47/91;B65G43/08;B65G47/24;
代理机构
代理人
地址 100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号
入库时间 2023-06-19 15:19:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-31
实质审查的生效 IPC(主分类):B65G47/91 专利申请号:2022101271359 申请日:20220211
实质审查的生效
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