一种多功能基础与应用研究复合型物理气相沉积系统

摘要

本发明涉及一种多功能基础与应用研究复合型物理气相沉积系统，该系统包括置于支撑平台上的反应腔体以及与反应腔体相连的真空机组和电控柜。反应腔体的顶部为平面，中心设功能转换法兰接口，该功能转换法兰接口上安装带电弧靶的多弧离子镀或带2个铜电极的热蒸发沉积；反应腔体的侧面设有平面/圆柱磁控靶、4个圆形平面磁控靶；反应腔体内设有一组不锈钢极板；反应腔体内的底部一侧设有连有电动机的传动轴；传动轴上设传动齿轮、两个定位销Ⅰ；反应腔体内的底部设大齿轮，顶部设样品架底盘；样品架底盘上均布有6个自转轴，该自转轴的顶端设样品架顶盘；每个自转轴上设一个自转齿轮。本发明经济实用，可用于制备多领域的功能性薄膜材料。